1.پمپ وکیوم تراکمی
پمـپ هایی که به تناوب ، عمل افـزایش و کـاهش حجم گاز محفظه را انجام می دهند. در این نوع پمپ وکیوم گاز از مكان کم فشار به سمت پرفشار منتقل می شود، بی آنکه حجم محفظه پمپ تغییر کند.
اساس کار پمپ های وکیوم تراکمی بر پایه انتشار گازها به داخل یك توده متراکم از بخار، با سرعت است که بخار ها را بوسیله میعان و گازها را با چگالش آنها در دمای بسیارپایین پمپ میکنند.
2.پمپ وکیوم دیافراگمي
اخیراً به دلایل محافظت از محیط زیست پمپ وکیوم دیافراگمی کاربردهای زیادی پیدا کرده است. این پمپ ها برخلاف پمپ جت آب، هیچ فاضلابی تولید نمی کنند. بطور کلی، یك پمپ دیافراگمی نسبت به پمپ جت آب میتواند تا %9 درصد در هزینه ها صرفه جویی کند. محفظه پمپ دیافراگمی در مقایسه با پمپ وکیوم روتاری تیغه های کاملا خالی از روغن دارد. پمپ وکیوم دیافراگمی جزء پمپ های خشك محسوب می شوند.
از آنجا که در این نوع پمپ سیستم پمپاژ کاملا فاقد روغن می باشد، برای استفاده در سیستم های اندازه گیری بسیار مناسب است علاوه بر آن به طور کامل از حضور هلیوم جلوگیری می کند زیرا هیچ هلیومی در این پمپ حل نمی شود.
3. پمپ وکیوم رینگ مایع
اساس کار این نوع از پمپ وکیوم پمپاژ است و به صورت ویژه برای پمپاژ گازهایی که دارای مقادیر کم مایع هستند مناسب است. هوایی که با بخار آب اشباع شده یا دیگر گازهایی که شامل محتویات
چگالی پذیر هستند، در این پمپ بدون هیچ مشكلی پمپ می شود.
اگر در جریان گازی که میخواهیم پمپ شود، آلودگی هایی وجود داشته باشد، پمپ های وکیوم مایع نسبت به آن حساس نخواهند بود. نهایت فشاری که میتوان از این نوع پمپ انتظار داشت در محدوده بین فشار اتمسفر و فشار بخار مایعی است که از آن در پمپ استفاده شده است.